KOBELCO PVD TECHNOLOGY
コーティング装置

アークイオンプレーティングAIP®-Sシリーズ

AIP®-Sシリーズはアークイオンプレーティング(AIP®)を使ったコーティング装置です。このシステムは幅広い用途へ適用が広がっています。成膜スピードが速く、面粗度の良い膜のコーティングが可能です。

特長

  1. 1. 幅広い蒸発源ラインナップから最適な蒸発源の選択が可能
  2. 2. メンテナンス性の追求
  3. 3. ワーク測温機構
  4. 4. 装置管理システム
  • スーパーファインカソード
    プラズマの拡張 詳細  
  • ファインカソード
    プラズマアシスト 詳細  
  • ノーマルカソード
    従来

新技術

当社が新蒸発源であるSFC(スーパーファインカソード)はカソード周囲の磁場をコントロールするという特長があります。

  • バイアス電圧の制御により残留応力をコントロールし、これまでのAIP(アークイオンプレーティング)での膜を網羅
  • 応力が低い厚膜コーティング(最大約20μm)が可能
  • ワンタッチ操作でターゲット交換が用意に可能
  • ターゲットの歩留り率改善(約20%アップ)による生産性の向上

コーティング膜厚の分布

ファインカソードでの評価試験

Turning
素材: カーバイド、ワークピース: AISI 316、
切削速度: 270 [m/min]、クーラント: 湿式
Milling Test
素材: カーバイド、ワークピース: AISI A48-94a、
切削速度: 220 [m/min]、クーラント: 乾式

ラインアップ

AIP アークイオンプレーティング AIP-S20 アークイオンプレーティング AIP-S40 アークイオンプレーティング AIP-S70 アークイオンプレーティング
設置スペース 5m×2m 6m×6m 7m×7m
有効処理空間 Φ220mm
× H 120mm
Φ450mm
× H 500mm
Φ700mm
× H 700mm
蒸発源数 2発
(最大1発×3面まで追加可能)
3発×2面
(最大3発×4面まで追加可能)
4発×2面
(最大4発×4面まで追加可能)
ワークテーブル Φ90×3軸 Φ130×6軸 自公転 Φ130×12軸 自公転
搭載可ワーク重量 最大15kg 最大180kg 最大360kg
代表的な用途 R&D用 中規模生産用
工具・自動車部品・金型(中型)
大規模生産用
工具・自動車部品・金型(大型)

ta-C成膜用アーク蒸発源

上記の標準蒸発源に加え、近年注目されているta-C膜(カーボン膜)を新開発の蒸発源によりAIP-Sシリーズでも成膜することができるようになりました。

KOBELCO カーボン蒸発源の特長

  1. 1. Stable 安定的な放電によりターゲット利用率の向上と長時間運転が可能
  2. 2. Smooth フィルター無しで平滑な皮膜を達成
  3. 3. Simple 簡単な構造でターゲット交換が容易

これまでの平板型及びロッド型ターゲット開発を通じ磁場設計を最適化、ta-C成膜のための丸棒型カーボン蒸発源を開発しました。

ta-C膜とは

水素フリーDLC(ta-C Tetrahedral amorphous carbon)高硬度かつ特定の潤滑油下で摩擦係数が低いことが特長です。
アルミ切削向け工具やバルブリフター等の自動車摺動部品に広く適用されています。

メンテナンス性能の追求

電源やポンプをチャンバから分離させたことで、付属機器類のメンテナンスが容易になりました。
両側開放式チャンバドアを採用したことで、短時間でのバッチ間メンテナンスが可能になりました。

ワーク測温機能

AIP®-Sシリーズでは、ワーク測温機能を標準装備しており、運転中のワーク温度を正確に監視し、設定した温度となるよう自動でコントロールすることが可能です。

装置管理システム

インターネットを介し、遠隔で装置状態をモニタリングすることができます。
装置のトラブル時には、事前登録したデバイスで異常発生通知メールを受信することができます。
また必要に応じ、お客様装置の状態を確認、早期に原因究明するリモートメンテナンスを行います。
お客様が装置を安定してお使い頂けるよう、装置納入後のサポート体制も整えております。

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