特殊用途AIP®装置 | コーティング装置 | PVDコーティング・イオンプレーティング装置 神戸製鋼所
KOBELCO PVD TECHNOLOGY
コーティング装置

特殊用途AIP®装置

AIP®インラインシステム

AIP®インラインシステムは大規模生産に適しています。 このシステムは、それぞれのチャンバーで真空引き、予熱、コーティング、冷却を行うことで生産効率を高めます。

特長

  1. 1. 全自動制御装置による前後の工程と連動可能
  2. 2. PCによるAIP®操作データ制御により、操作管理が効率化

チャンバーモジュール構造によって、コーティングの要件に応じて5あるいは6チャンバーシステムなど柔軟に組み合わせることが可能です。

ピストンリング用AIP®システム

AIP®-G シリーズ

AIP®-G シリーズはピストンリングの厚膜コーティング用に開発されました。

AIP®-G シリーズは、最新アーク蒸発源のスーパーファインカソードを使用しています。

  1. 1. 膜厚の均一性
  2. 2. ターゲット歩留まりの向上
  3. 3. 厚膜コーティングに最適化

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