KOBELCO PVD TECHNOLOGY
コーティング装置

AIP®+UBMS®複合装置

高性能システムを備えたハイエンドシステム

1つの装置にAIP®式とUBMS®式の両方を搭載したハイブリッド装置も販売しております。この2つの蒸発源を交互に、あるいは同時に放電することでより複雑かつハイエンドのコーティングが可能になりました。
様々な産業において、ハイブリッド装置はさらなる高性能の膜の研究開発や生産の可能性を広げています。

代表的なコーティング 用途
DLC積層膜
ナノ積層膜
TiCrAlN/WN、CrN/BCNなど
-切削工具
-金型
-自動車部品など

穴あけ試験

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