KOBELCO PVD TECHNOLOGY
コーティング装置

UBMS®シリーズ

UnBalanced Magnetron Sputtering

UBMS®シリーズは、非平衡(UnBalanced)な磁場でのスパッタ法を用いたコーティング装置です。精密かつ高密度の膜をもたらすので、DLC(ダイアモンド・ライク・カーボン)の成膜に適しています。

UBMS®の特長

  1. 1. 非平衡磁場による、ワーク近傍のプラズマ密度が増大
  2. 2. メンテナンス性の追求
  3. 3. ワーク測温機構
  4. 4. 装置管理システム
  • アルゴンイオンがプラズマ内で活性化され、金属ターゲットに衝突する

  • 活性化したアルゴンイオンによって、
    金属原子のターゲットが飛び出す

  • 飛び出した金属イオンにより、
    膜が蒸着する

Balanced Magnetron
UnBalanced Magnetron
Typical DLC
Nano-Multilayered DLC

神戸製鋼所のDLCコーティングはナノ多層構造で、耐摩耗性だけでなく摺動性、靱性に優れています。

Typical DLC
バランスの優れたDLC膜

PE-CVD方式(プラズマCVD)

PE-CVD方式とはガスを成膜原料としてコーティングする技術です。主にメタンやアセチレンを使用し、DLC膜を生成します。
PE-CVD方式は、UBMS®方式と比較し5倍以上の成膜速度も可能で、UBMS®方式の課題である生産性を摺動特性を維持しつつ向上させることが可能です。弊社UBMS®装置(UBMS504,707)にオプション機能を追加することでPE-CVD装置としてもご利用いただけます。

ラインナップ

AIP AIP-S20 AIP-S40 AIP-S70
設置スペース 4m×3.5m 5m×6m 6m×7m
有効処理空間 Φ 200mm
× H 120mm
Φ 450mm
× H 400mm
Φ 700mm
× H 800mm
蒸発源数 2面 4面 7面
ワークテーブル Φ90×3軸 自公転 Φ130×6軸 自公転 Φ130×12軸 自公転
搭載可ワーク重量 最大20kg 最大180kg 最大360kg
代表的な用途 R&D用 中型生産用
自動車部品量産
大型生産用
自動車部品量産

UBMS®によるDLCの特長

DLC(ダイヤモンドライクカーボン)は、車や機械の部品、金型など幅広い用途に使われます。機械的強度や化学的不活性が高く、摩擦挙動が低いためです。
神戸製鋼所は、コーティング・パラメーターを調節することで、お客様のアプリケーションごとに最適のDLCをご提供いたします。

DLCの用途など

  1. 自動車部品(エンジンや燃料ポンプの部品)
  2. 機械部品(玉軸受、ボールねじ、油圧ポンプの部品)
  3. アルミ用切削工具
  4. アルミ缶用回転工具
  5. 銅管のトリミング金型
  6. アルミシート用のパンチ

など

UBMS®による高機能DLC

  • 高密着性DLC
    1. 基材との界面強化
    2. 中間膜の最適化
  • 硬度制御と硬度変調型積層DLC
    1. UBMによるイオンアシスト効果
  • 金属ドープDLC
    1. スパッタによる各種金属との複合
  • 水素DLC
    1. 固体カーボン源→水素含有量制御
  • AIP皮膜との複合型DLC

など

神戸製鋼所のDLCの効果

Punching of SUS Sheets
Drilling of Al Alloy

UBMS®によるBELCOAT™

名称 種類 硬さ
(Hv)
厚さ
(μm)
特長
用途
BELCOAT
B
標準 1,500 ~ 2,500 0.5 ~ 5 耐摩耗性、潤滑性、密着性のバランス。
一般機械部品
BELCOAT
HB
高硬度 2,500 ~ 3,500 0.1 ~ 0.2 耐摩耗性重視。
自動車部品
BELCOAT
UB
超高硬度 3,500 ~ 4,000 0.1 ~ 0.2 高面圧条件下での耐摩耗性を重視。
レース用自動車部品、切削工具
BELCOAT
NB
ナノ積層 1,500 ~ 2,500 0.1 ~ 0.15 耐摩耗性と潤滑性を両立。靱性と耐衝撃性に富む。
軸受、打抜金型
BELCOAT
MB
金属ドープ 1,000 ~ 2,000 0.15 ~ 0.25 金属ドーピングにより特性変化。膜応力緩和効果。
自動車部品、樹脂射出成形金型

メンテナンス性能の追求

電源やポンプをチャンバから分離させたことで、付属機器類のメンテナンスが容易になりました。
両側開放式チャンバドアを採用したことで、短時間でのバッチ間メンテナンスが可能になりました。

ワーク測温機能

UBMS®では、ワーク測温機能を標準装備しており、運転中のワーク温度を正確に監視し、設定した温度となるよう自動でコントロールすることが可能です。

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