KOBELCO PVD TECHNOLOGY
技術紹介

技術紹介

ここで当社のコーティング装置の成膜方式と膜種ラインナップをご紹介します。

1986年以降、神戸製鋼所は一種のPVD装置であるAIP®システムを設計、製造、販売して参りました。 ピストンリングなどの用途に標準的なバッチシステム、インラインシステム、特殊コーティングシステムを開発しています。
1998年より当社はUBMS®システムの販売を開始し、PVDシステムの用途を広げました。当社の全世界での製造台数は550台以上にのぼります。(2017年1月時点)

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