成膜方式 | 技術紹介 | PVDコーティング・イオンプレーティング装置 神戸製鋼所
KOBELCO PVD TECHNOLOGY
技術紹介

成膜方式

真空蒸着の分類

真空蒸着法には、さまざまなプロセスがあります。神戸製鋼所は、下記のプロセスを使用して装置を設計および製造してきました。

神戸製鋼所の技術

アークイオンプレーティング

  • プロセスチャンバーへ、窒素ガスを投入します。
  • 金属ターゲットの表面でアーク放電させます。
  • アーク放電により皮膜材料を蒸気化・イオン化させます。
  • 基板に負電圧をかけて、窒素ガスと反応しているイオンを引き付けます。
  • 基板に金属窒化物を蒸着させます。

AIP®

AIP®-Sシリーズは、プラズマ強化カソードに実装され、革新的な技術を提供します。成膜スピードを損なうことなく、非常に粗度のよい膜のコーティングが可能です。

アークイオンプレーティングの大きな欠点であるマクロ粒子は、AIP®により最小化されています。

※ AIP®は、神戸製鋼所の登録商標です。

スパッタリング

UnBalanced Magnetron

  • プラズマ内で活性化されたアルゴンガスがアルゴンイオンを形成します。
  • アルゴンイオンは、ターゲットから金属原子を飛ばしだします。
  • 非均衡の磁場は、基板の周辺にアルゴンイオンを投入します。
  • 基板に負電圧をかけてアルゴンイオンを引き付け、活性エネルギーを金属原子に誘導して基板に蒸着させます。
  • 固形の金属フィルムが基板に形成されます。

UBMS®

当社は、あらゆる用途においてDLCフィルムの接着力を大幅に向上させました。DLCの用途を広げることだけでなく、UBMS®で利用できる他のフィルムの開発にも寄与しています。

※ UBMS®は、神戸製鋼所の登録商標です。

コーティング装置の利点

Effect of Surface Treatment

PVD coating constitutes approx. 40% of coated tools!

神戸製鋼所のPVDコーティングの効果

Life Expansion of Cold Working Punches
Reduction of Wear of WC endmill

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